SK海力士是全球知名的存儲器廠商，2021年2月1日，SK海力士M16新廠舉行了竣工儀式。 官方信息顯示，SK海力士將首次在M16配備EUV（Extreme Ultraviolet，極紫外）光刻機(jī)，通過在M16廠采用先進(jìn)基礎(chǔ)設(shè)備，準(zhǔn)備把新廠發(fā)展成為公司的下一代發(fā)展動力。據(jù)路透社報(bào)道，SK海力士于2月24日宣布，已與ASML簽訂了一項(xiàng)為期5年、價(jià)值4.8萬億韓元(約43.4億美元)的采購合同。SK海力士將購入價(jià)值4.8萬億韓元的EUV光刻機(jī)設(shè)備。SK海力士在一份監(jiān)管文件中稱，這筆交易是為了實(shí)現(xiàn)下一代工藝芯片量產(chǎn)的目標(biāo)。 SK海力士計(jì)劃運(yùn)用EUV光刻機(jī)，從今年下半年起生產(chǎn)第四代1a納米級DRAM產(chǎn)品。SK海力士今后將提高EUV設(shè)備利用率，進(jìn)一步增強(qiáng)存儲器半導(dǎo)體相關(guān)的先進(jìn)工程技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力。 SK海力士M16于2018年11月開建，工廠建設(shè)總投資3.5萬億韓元。M16廠將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品，是SK海力士國內(nèi)外生產(chǎn)設(shè)施中規(guī)模最大的工廠。